被覆玻璃之装置

摘要

一气体分配梁，包括被一大致为Ｖ形的冷却流体室所包围的一气室及分配长沟。该适当的冷却流体之循环乃有助于维持该气室及分配长沟于一低于华氐400度的温度，以便分布二硼氢气体至一热玻璃带状片的上表面。碳块乃被用来稳定该玻璃的温度于华氏950度之上，以便可在该玻璃的表面适当的分解。在该等碳块及该冷却流体室的外壁之间的绝缘物将热传导量降至最低，而该冷却流体室的形状则将玻璃暴露于该冷却室的较低温度之程度减至最小。