发明名称 COMPOSITION FOR INTERLAMINAR INSULATION FILM AND/OR SURFACE PROTECTION FILM OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02180961(A) 申请公布日期 1990.07.13
申请号 JP19890060123 申请日期 1989.03.13
申请人 HITACHI CHEM CO LTD 发明人 SUZUKI HIROSHI;KOJIMA MITSUMASA;SEKINE HIROYOSHI;SATO TONOBU;YOSHIDA MASATOSHI
分类号 C08L79/08;C08G73/10;H01L21/312 主分类号 C08L79/08
代理机构 代理人
主权项
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