发明名称 |
COMPOSITION FOR INTERLAMINAR INSULATION FILM AND/OR SURFACE PROTECTION FILM OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02180961(A) |
申请公布日期 |
1990.07.13 |
申请号 |
JP19890060123 |
申请日期 |
1989.03.13 |
申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
SUZUKI HIROSHI;KOJIMA MITSUMASA;SEKINE HIROYOSHI;SATO TONOBU;YOSHIDA MASATOSHI |
分类号 |
C08L79/08;C08G73/10;H01L21/312 |
主分类号 |
C08L79/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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