| 主权项 |
1﹒一种用以输送装在晶片卡匣中之半导体晶片之轨道运载具装置,该轨道运载具装置包括:一用以搬运晶片卡匣之载具;一沿载具之移动路线配置之导轨,用以支承载具以便沿移动之路线引导载体;及用以沿移动之路线驱动载具之驱动装置;该载具含有以滑动方式连接于导轨之载具本体,供沿导轨移动;其特征为:该载具进一步具有:底板构件,安装在载具本体上,此底板构件具有顶面用以支承晶片卡盒,该顶面之横向一侧缘之高度高于另一侧缘之高度,使得该顶面以不超过40度之倾斜角对水平面倾斜;及接合构件,装设在底板构件之邻近该另一侧缘的部位上,用以与晶片卡盒接合,以防晶片卡盒沿底板构件之顶面滑落。2﹒根据申请专利范围第1项之轨道运载具装置,其中,该载具进一步具有悬吊装置设在载具本体及底板构件之间,以缓冲载具本体传至底板构件之振动,俾使底板上面之晶片卡盒所受之振动较载具本体之振动为小。3﹒根据上述申请专利范围第2项之轨道运载具装置,在其中悬吊装置包括多个垂直减震构件,各为垂直弹性者。4﹒根据上述申请专利范围第3项之轨道运载具装置,在其中悬吊装置再包括:一以固定方式连接于于载具本体及向上凸出之支承加构件;一以固定方式连接于底板构件及向下凸出以便面对支承架构件之连接架构件;及在支承及连接架构件间延伸之多个水平减震器构件,每一水平减震器构件为水平弹性者。5﹒根据上述申请专利范围第4项之轨道运载具装置,在其中每垂直减震器备件包括一由弹性材料制成之第一管状伸缩囊。6﹒根据上述申请专利范围第5项之轨道运载具装置,在其中每一水平减震器构件包括一由弹性材料制成之第二管状伸缩囊。7﹒根据上述申请专利范围第6项之轨道运载具装置,在其中每一垂直减震器构件再包括一以同心方式装在第一管状伸缩囊中之螺旋弹簧。8﹒根据上述申请专利范围第6或7项之轨道运载具装置,在其中每一水平减震器构件再包括一以同心方式装在第二管状伸缩囊中之螺旋弹簧。9﹒根据上述申请专利范围第5或7项之轨道运载具装置,在其中悬吊装置再包括:用以使空气进出第一管状伸缩囊之第一通气装置;及用以经由第一通气装置过滤进出第一管状伸缩囊之空气之第一过滤器装置。10﹒根据上述申请专利范围第6项之轨道运载具装置,在其中悬吊装置再包括:用以使空气进出第二管状伸缩囊之第二通气装置,及用以经由第二通气装置过滤进出第二管状伸缩囊之空气之第二过滤器装置。11﹒根据上述申请专利范围第8项之轨道运载具装置,在其中悬吊装置再包括:用以使空气进出第二管状伸缩囊之第二通气孔装置,及用以经由第二通气孔装置过滤进出第二管状伸缩囊之空气之第二过滤器装置。12﹒根据上述申请专利范围第1项之轨道运载具装置,在包括一用以向与移动之路线成垂直之水平方向移动载具之站总成。13﹒根据上述申请专利范围第12项之轨道运载具装置,在其中导轨具有一不连续部份,及站总成包括:一在导轨之不连续部份下配置及与导轨成垂直延伸之轨道;一以滑动方式连接于轨道之移动盘构件供沿轨道运动;及一藉移动盘构件所搬运之导轨件,导轨件在当移动盘构件在其最初位置时跨越导轨之不连续部份。图示简单说明图1系一习用轨道运载具装置(部份成断面)之正视图;图2系一装设有一对半导体晶片之晶片卡匣之透视图;图3系设有根据本创作之轨道运载具装置之洁净室之概略平面图;图4系图3中之轨道运载装置(部份成断面)之正视图;图5系图3中之轨道运载装置(部份成断面)之片断侧视图;图6系图3中之轨道运载装置之站总成之片断透视图;图7系图3中之站总形(部份成断面)之正视图;图8系本创作之另一具体实例(部份成断面)之正视图;图9系图8中之轨道运截具装置(部份成断面)之片断侧视图;图10系图8中之悬吊机构之修正型式(部份成断面)之正视图;图11系图8中之悬吊机构之另外修正型式(部份成断面)之正视图;图12系图8之悬吊机构之再一修正型式(部份成断面)之正视图;及图13系图8中载具之修正型式(部份成断面)之正视图。 |
