发明名称 TESTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02203286(A) 申请公布日期 1990.08.13
申请号 JP19890024334 申请日期 1989.02.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ADACHI YUKINOBU
分类号 G01R31/26;G11C11/401;G11C11/408;G11C29/00;G11C29/56;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/10 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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