发明名称 CONTACTING DEVICE FOR MEASURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02203278(A) 申请公布日期 1990.08.13
申请号 JP19890024898 申请日期 1989.02.02
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SANADA KENICHI
分类号 G01R1/067 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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