| 摘要 |
본 발명에 의한 표면 처리 장치는, 시약이 저장된 저장조; 양단이 개방되어 상기 시약이 유동하는 경로를 형성하고 내부에 시편이 설치되어 상기 시약과 반응되는 반응조와, 상기 반응조의 일단에 설치되어 상기 반응조와 일체로 회동되는 회동축을 포함하는 반응부; 상기 저장조에서 상기 반응부의 일단으로 상기 시약을 이송하는 펌프; 및 상기 반응부의 타단을 통해 배출된 상기 시약을 수집하여 상기 저장조로 재공급하는 케이스;를 포함하고, 상기 시편의 상면 및 하면을 상기 시약이 타고 흐를 수 있도록, 상기 시편은 상기 반응조의 바닥면에서 이격되어 설치되는 것을 특징으로 한다. |
