| 摘要 |
실리콘 테트라할라이드와 야금 등급 실리콘을 수소화 처리하여 트리할로실란을 제조하는 반응기는, 야금 등급 실리콘 입자의 베드, 하나 이상의 가스 입구, 하나 이상의 고체 입구, 하나 이상의 고체 배출구, 및 반응기로부터 트리할로실란을 제거하기 위한 하나 이상의 포트를 포함한다. 반응기 내로 유입되는 실리콘 테트라할라이드/수소 공급물 스트림에 공급물 실리콘 입자가 혼입되어 그 스트림이 실리콘 입자의 베드에 충돌함으로 인한 내부 그라인딩 및 마멸에 의해 베드의 입자에 새로운 표면이 생성된다. 이는 트리할로실란의 수율을 높이고, MGS의 소모율을 높이며, 반응기를 떠나는 트리할로실란 내의 미세 분진형 동반 배출물로서 사용된 MGS를 제거하고, 베드의 제거를 위한 조업 정지 시기들 사이를 보다 길게 할 수 있다는 이점을 갖는다. |
