| 发明名称 |
VAPOR GROWTH METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02212399(A) |
申请公布日期 |
1990.08.23 |
| 申请号 |
JP19890032445 |
申请日期 |
1989.02.10 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
FUJII SATOSHI;FUJITA YUKIHISA;TERADA TOSHIYUKI |
| 分类号 |
C30B25/12;C30B29/48;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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