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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02231765(A)
申请公布日期
1990.09.13
申请号
JP19890051934
申请日期
1989.03.06
申请人
HITACHI LTD
发明人
ETO HIROYUKI;NAKAGAWA KIYOKAZU;MURAKAMI HIDEKAZU;KONDO MASAO;MIYAO MASANOBU
分类号
C30B29/68;H01L21/205;H01L29/161
主分类号
C30B29/68
代理机构
代理人
主权项
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