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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02244734(A) 申请公布日期 1990.09.28
申请号 JP19890065045 申请日期 1989.03.17
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 ARAI KATSUO;DANNO TADATOSHI;HATORI KAZUO;ENOMOTO USUKE;HOSHI AKIRO;SATO YUKIHIRO;UTSUKI HIROMOTO;NISHIZAWA NOBUHIRO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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