发明名称 半导体装置
摘要 一种半导体装置,当做可程式唯读记忆体使用,可藉电气方式予以程式设计。此种半导体装置之电阻可藉由施加电场予以不可逆的由高电阻值变至低电阻值。此种半导体装置包含:P型矽半导体基材,N型扩散层,形成于扩散层上之中间层绝缘膜,含P型杂质之非晶矽层,以及,形成导电性互连部之金属膜。扩散层系当做下部电极使用。金属膜系当做上部电极使用。非晶矽层与金属膜重叠于扩散层上。
申请公布号 TW143138 申请公布日期 1990.10.01
申请号 TW078107430 申请日期 1989.09.27
申请人 精工艾普逊股份有限公司 发明人 平河一喜
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 何金涂 台北巿大安区敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种半导体装置包含:第一种导电型式之第一半导体层:形成于第一半导体层上而且在格子之间含有杂质之第二半导体层,其杂质含有与第一种导电型式不同之第二种导电型式;以及上部电脑极层。2.如申请专利范围第1项所述之半导体装置,其中,第一种导电型式之该第一半导体层系一个扩散层,且其中,在格子之间含有杂质之该第二半导体层系由多晶矽、非晶矽或具有已破坏结晶构造之矽予以制成。3.如申请专利范围第1项所述之半导体装置,其中,该第一半导体层系掺杂之多晶矽层,且其中,让第二半导体层系由多晶矽、非晶矽或具有已破坏结晶构造之矽予以制成。4.如申请专利范围第1项所述之半导体装置,其中,第一种导电型式之该第一半导体层系由掺杂多晶矽予以制成而且经由洞孔与下面之金属或金属化合物层相连接,且其中,形成于第一半导体层上之该第二半导体层系由多晶矽,非晶矽或具有已破坏晶体构造之矽予制成。5.如申请专利范围第1项所述之半导体装置,其中,第一种导电型式之该第一半导体层系形成于一层金属或金属化合物上之掺杂多晶矽层,且其中,在格子之间含有杂质之该第二半导体层经由洞孔而与第一半导体层相连接,而且,由多晶矽、非晶矽或具有已破坏结晶构造之矽予以制成。6.如申请专利范围第1,2,3。4或5项所述之半导体装置,其中,让上部电极系由金属或金属化合物予以形成。7.如申请专利范围第4或5项所述之半导体装置,其中,让金属或金属化合物系由Al,Mo,Ti或W此种金属之矽化物所形成之一层或多层予以构成。8.如申请专利范围第6项所述之半导体装置,其中,让金属金属化合物系由Al,Mo,Ti或W此种金属之矽化物所形成之一层或多层予以构成。图示简单说明:图1为依据本发明之半导体装置之主要部分之断面图。图2为习知半导体装置之主要部分之断面图。图3(a)为曲线图,显示依据本发明之半导体装置之电气特性,其中,此半导体装置当加以程式设计。图3(b)为相似于3(a)之曲线图,但其中,此半导体装置已加以程式设计。图4为依据本发明之另一种半导体装置之主要部分之断面图。图5为依据本发明之又一种半导体装置之主要部分断面图。图6图为依据本发明之又另一种半导体装置之主要部分之断面图。
地址 日本