| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR WAFER USED THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02250349(A) |
申请公布日期 |
1990.10.08 |
| 申请号 |
JP19890070628 |
申请日期 |
1989.03.24 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIBATA TAKASHI;IHARA TAKANOBU |
| 分类号 |
H01L21/822;H01L21/66;H01L27/04;H01L27/10;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
