发明名称 METHOD FOR EPITAXY
摘要
申请公布号 JPH02267186(A) 申请公布日期 1990.10.31
申请号 JP19890089021 申请日期 1989.04.08
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 C30B25/02;C23C16/48;C30B23/02;C30B25/18;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/263;(IPC1-7):C30B23/02 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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