| 摘要 |
一种测量由高频加热装置施于工件上欲加热位置之有效加热功率的方法，该高频加热装置具有一接至一谐振电路的高频ＡＣ电源，该谐振电路由该电源供以高频ＡＣ电力而将一股高频ＡＣ电力供至该工作。其中，先测出供至谐振电路之电力的有效功率PHF。并测出在谐振电路中感测出之电流的有效值It；在电源下游之元件中所造成之功率损失Ｗ以所测得有效值It的一个函数算出。故有效加热功率Pw即可由Pw＝PHF - Ｗ算得。于本发明之另一观念中，将所算出之有效加热功率Pw与一目标值比较，接即控制供予谐振电路的电力以使所算得有效加热功率与目标值间之差值降为零。 |
