发明名称 |
X-RAY EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE PROCESS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0376108(A) |
申请公布日期 |
1991.04.02 |
申请号 |
JP19890211382 |
申请日期 |
1989.08.18 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
SAITO YASUNAO;KANEKO TAKASHI |
分类号 |
G21K1/06;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G21K1/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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