发明名称 X-RAY EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE PROCESS
摘要
申请公布号 JPH0376108(A) 申请公布日期 1991.04.02
申请号 JP19890211382 申请日期 1989.08.18
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 SAITO YASUNAO;KANEKO TAKASHI
分类号 G21K1/06;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G21K1/06
代理机构 代理人
主权项
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