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发明名称 ALUMINUM FILM
摘要
申请公布号 JPH03114266(A) 申请公布日期 1991.05.15
申请号 JP19900241230 申请日期 1990.09.13
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 C23C16/20;H01L21/28;H01L29/43 主分类号 C23C16/20
代理机构 代理人
主权项
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