| 发明名称 |
FORMATION OF PATTERN AND STRUCTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03145128(A) |
申请公布日期 |
1991.06.20 |
| 申请号 |
JP19890281876 |
申请日期 |
1989.10.31 |
| 申请人 |
HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK |
发明人 |
AKITA KENZO;TANETANI MOTOTAKA;SUGIMOTO YOSHIMASA;HIDAKA HIROMI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/316;H01S5/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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