矽烷之制法

摘要

将金属氢化物，如氢化铝锂(LiAlH4)与卤矽化合物反应，以制备矽烷及副产物的连续方法。此法包括含第一反应器，第二反应器及分离区的反应圈。大部分的金属氢化物以固定的速率加入第一反应器反应。其余的氢化物加入于所有卤化矽均加入的第二反应器。由第二反应器的反应以倒回进料，控制卤烷化合物的加入速率，达到计量或实质计量的操作。此法可保存原料，提供改良的副产物并可降低成本。1987年7月20日在美国申请专利第075,367号