发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03181137(A) 申请公布日期 1991.08.07
申请号 JP19890320821 申请日期 1989.12.11
申请人 CANON INC 发明人 KONDO SHIGEKI;MIZUTANI HIDEMASA
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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