| 发明名称 |
TARGET FOR LASER VAPOR DEPOSITION, METHOD AND DEVICE FOR LASER VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03199372(A) |
申请公布日期 |
1991.08.30 |
| 申请号 |
JP19890338368 |
申请日期 |
1989.12.28 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
KURODA KENICHI |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C23C14/28;H01L39/24 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
