发明名称 Leistungshalbleitermodul
摘要 Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, weniger Fehler in Fertigungsschritten und eine erhöhte Zuverlässigkeit durch Verringern einer elektrischen Feldstärke einer Oberfläche eines Leistungshalbleiter-Chips zu erzielen. Die vorliegende Erfindung weist auf: einen Leistungshalbleiter-Chip (4), der auf einem isolierenden Substrat (2) angeordnet ist; eine Verdrahtung (5), die mit einem Oberflächenleitermuster in einem Elementbereich (4A) des Leistungshalbleiter-Chips verbunden ist; eine Schicht (8) mit einer niedrigen Dielektrizitätskonstanten, die zwischen der Verdrahtung und dem Umfangsbereich (4B) angeordnet ist; und ein versiegelndes Material (6), das so ausgebildet ist, dass es das isolierende Substrat, den Leistungshalbleiter-Chip, die Verdrahtung und die Schicht mit der niedrigen Dielektrizitätskonstanten bedeckt. Die Schicht mit der niedrigen Dielektrizitätskonstanten weist eine Dielektrizitätskonstante auf, die niedriger ist als diejenige des versiegelnden Materials.
申请公布号 DE112013007691(T5) 申请公布日期 2016.09.22
申请号 DE20131107691T 申请日期 2013.12.17
申请人 Mitsubishi Electric Corporation 发明人 Kawaguchi, Yasuto
分类号 H01L21/60;H01L23/48 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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