VAPOR GROWING METHOD FOR III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR,申请号JP19900045531-传众专利搜索

发明名称	VAPOR GROWING METHOD FOR III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号	JPH03250623(A)	申请公布日期	1991.11.08
申请号	JP19900045531	申请日期	1990.02.28
申请人	NEC CORP	发明人	SUNAKAWA HARUO
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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