发明名称 PHOTOIMAGEABLE POLYIMIDE COATING
摘要 Of the Invention A photoimageable polyimide coating which can be prepared from the polymeric condensation product of 6FDA, DMDE or MEDA, and a photosensitizing moiety. More particularly, the present invention relates to a photoimageable polyimide coating useful for microelectronic applications. 28,188R4
申请公布号 CA2040994(A1) 申请公布日期 1991.11.09
申请号 CA19912040994 申请日期 1991.04.23
申请人 AMOCO CORPORATION 发明人 NGO, DAVID D.
分类号 C08L79/08;C03C25/10;C08L79/00;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):C08G73/10;G03F7/028;B05D3/06;C09D179/08;B05D3/10;B32B27/34 主分类号 C08L79/08
代理机构 代理人
主权项
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