发明名称 RESIST APPLYING METHOD
摘要
申请公布号 JPH03268416(A) 申请公布日期 1991.11.29
申请号 JP19900067276 申请日期 1990.03.19
申请人 SONY CORP 发明人 IKEDA RIKIO
分类号 G03F7/16;B05D1/40;H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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