| 发明名称 |
METHOD FOR SYNTHESIZING DIAMONDLIKE THIN FILM AND DIAMONDLIKE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03274269(A) |
申请公布日期 |
1991.12.05 |
| 申请号 |
JP19900075210 |
申请日期 |
1990.03.22 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KUROKAWA HIDEO;MITANI TSUTOMU;NAKAGAMI YUICHI |
| 分类号 |
C30B29/04;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/40;C23C16/26;C23C16/27 |
主分类号 |
C30B29/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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