发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH043925(A) 申请公布日期 1992.01.08
申请号 JP19900106052 申请日期 1990.04.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KONO MICHIARI
分类号 H01L21/768;H01L21/283;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/283;H01L21/90 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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