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摘要
申请公布号
JPH0415621(B2)
申请公布日期
1992.03.18
申请号
JP19850297795
申请日期
1985.12.25
申请人
SHINETSU CHEM IND CO
发明人
UENO SUSUMU;KANEDA MASARU;SHIMIZU SHINICHI;YOSHIDA TETSUO
分类号
H01L21/56;B29C45/14;B29C45/37;B29K105/20;B29L31/34
主分类号
H01L21/56
代理机构
代理人
主权项
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