研磨加工方法及其装置

摘要

一种研磨加工方法，即于研磨槽进行自转之回转桶研磨加工，或于研磨槽进行自转、公转之研磨加工，系以安装有研磨槽之研磨槽承受回转轴乃贯穿旋转筒板(turret drum)面板以构成，或将研磨槽安装台与槽承受回转轴两者成一体构成，由槽承受轴贯穿旋转筒之面板，以回动自如状态加以保持，且于槽承受回转轴，或研磨槽安装台及其周边部安装任意形状之研磨槽，并于研磨槽内进行被加工物之研磨加工为其特征者。