发明名称 WAFER LOADING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR920004054(Y1) 申请公布日期 1992.06.20
申请号 KR19880022174U 申请日期 1988.12.30
申请人 KOREA TELECOMMUNICATION CORP.;KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 PARK, SUNG - KYO;LEE, SANG - SU;LEE, CHONG - HYON;BAE, NAM - JIN;LIM, YE - SOP
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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