发明名称 VACUUM SEPARATING DEVICE OF VACUUM VESSEL FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR920004058(Y1) 申请公布日期 1992.06.20
申请号 KR19880022175U 申请日期 1988.12.30
申请人 KOREA TELECOMMUNICATION CORP.;KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 PARK, SUNG - KYO;KANG, BONG - KU;KIM, CHONG - SON;KANG, SU - IL;LEE, WUN - CHANG
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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