有机溶媒蒸发槽

摘要

本发明系提供安装有除法水分所用之超蒸发膜模组(pervaprotion film module)在其内部之有机溶媒蒸发槽，与使用此种有机溶媒蒸发槽之有机溶媒再生方法者。本发明较适用于用水洗净半导体材料后，以有机溶媒蒸气洗净，乾燥之系统。如使用本发明之上述系统，则有助益于上述系统之小型化，与提升安全性，提升半导体材料之品质。