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发明名称 WASHING OF SILICON AND ITS APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04215436(A) 申请公布日期 1992.08.06
申请号 JP19900402400 申请日期 1990.12.14
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD;PURETETSUKU:KK 发明人 NEZU SHIGECHIKA;KAMETANI MASAKI;HARADA YASUYUKI;AMANO YUTAKA
分类号 H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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