发明名称 CRYSTAL GROWING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04316316(A) 申请公布日期 1992.11.06
申请号 JP19910109700 申请日期 1991.04.15
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 MIKI ICHIJI;SAKAMOTO KUNIHIRO;SAKAMOTO SUMINORI;MATSUHATA HIROFUMI;OKUMURA HAJIME;YOSHIDA SADAJI
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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