无尘室用之无人搬运装置(一)

摘要

本发明之目的系在于提供一种以装载半导体晶片（ wafer）等之状态下，其搬运因本身之原因，或移载搬运目的地等之原因，不得不长时间中断时，也对半导体晶片等之表面可抑制生成自然氧化膜的无人搬运装置。本发明之装置为将搬运物从地面上之设备装载并自己行走至目的地的无人搬运装置，其特征为：将上述搬运物收容于容器40内并搬运，且使该容器以可置换内部气氛之方式经由供气路53连接于惰性气体储存部(氮气桶)50者。

主权项

1.一种无尘室用之无人搬运装置,系从地面上之设备搭载搬运物而自己行走至目的地之无人搬运装置,其特征为:将上述搬运物收容于容器并加以搬运,而该容器为以可置换内部气氛之方式经由供气路连接于惰性气体储存部者。2.如申请专利范围第1项之无尘室用之无人搬运装置,其中,该容器为构成在收容搬运物之状态下与地面之设备授受者。3.如申请专利范围第1项或第2项之无尘室用之无人搬运装置,该装置具有计时搬运时间之计时机构,且在搬运时间超过设定値时,容器之内部气氛可置换成惰性气体者。4.如申请专利范围第1项或第2项之无尘室用之无人搬运装置,其中,打开供气路后,当容器内之氧气浓度或惰性气体浓度达到规定値时,则关闭上述供气路者。5.如申请专利范围第1项或第2项之无尘室用之无人搬运装置,其中该供气路具有电磁阀,而该电磁阀为在内部气氛之气体置换时,当完成气体置换后,可将其阀开度缩小至送出微小流量者。6.如申请专利范围第1项或第2项之无尘室用之无人搬运装置,其中,该供气路具有主阀与成为副阀之微小流量送出用电磁阀,而当完成气体置换后关闭上述主阀,并藉上述