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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR MIRROR SURFACE FINISH MACHINING OF WAFER
摘要
申请公布号
JPH04343427(A)
申请公布日期
1992.11.30
申请号
JP19910115906
申请日期
1991.05.21
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
SHIBAYAMA TAKASANE
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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