发明名称 OXIDE FILM FORMING METHOD AND ITS EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH04348033(A) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 JP19910149416 申请日期 1991.05.25
申请人 ROHM CO LTD 发明人 SAMEJIMA KATSUMI
分类号 H01L21/31;C23C14/00;C23C14/46;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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