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发明名称 SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 CA2070359(A1) 申请公布日期 1992.12.06
申请号 CA19922070359 申请日期 1992.06.03
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MATSUDA, HIROSHI;KAWADE, HISAAKI;EGUCHI, KEN;YANAGISAWA, YOSHIHIRO;TAKEDA, TOSHIHIKO
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q30/20;G01Q60/10;G01Q80/00;G01Q90/00;G11B9/00;G11B9/14;(IPC1-7):G01B7/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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