| 摘要 |
Устройство для контроля поверхностного сопротивления металлических пленок, содержащее зондовую головку с расположением зондов на прямой линии, источник тока и измеритель тока, измеритель напряжения, подключенный к одной паре зондов, отличающееся тем, что зондовая головка содержит три зонда, причем расстояние sмежду средним зондом и первым внешним зондом, по крайней мере, в два раза меньше расстояния sмежду средним зондом и вторым внешним зондом, измеритель напряжения подключен к среднему зонду и ко второму внешнему зонду с большим расстоянием между ними, при этом последовательно соединенные источник тока и измеритель тока подключены к первому внешнему зонду и, по крайней мере, к одному электрическому контакту, расположенному на поверхности металлической пленки около ее внешнего контура. |
