SEMICONDUCTOR ELEMENT FORMING SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF,申请号JP19910032168-传众专利搜索

发明名称	SEMICONDUCTOR ELEMENT FORMING SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号	JPH04355920(A)	申请公布日期	1992.12.09
申请号	JP19910032168	申请日期	1991.01.31
申请人	SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD;NAGANO DENSHI KOGYO KK	发明人	OKADA MAMORU;YOSHIZAWA SHIGEYUKI;UCHIYAMA ATSUO
分类号	H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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