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发明名称 ASHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04357831(A) 申请公布日期 1992.12.10
申请号 JP19910132605 申请日期 1991.06.04
申请人 HITACHI LTD;HITACHI KASADO ENG KK 发明人 NAKAHARA ATSUSHI;KUDO KATSUYOSHI
分类号 C23F4/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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