| 摘要 |
본 발명은 기체의 온도에 따른 부피 변화를 이용하여 패턴의 전사 형상을 개선시키는 기능성 필름 제조방법을 제공한다. 상기 기능성 필름 제조방법은 임프린트 패턴을 포함하는 템플릿을 준비하고, 기판을 제 1 온도의 기체 분위기 하에 배치하고, 상기 기판을 상기 제 1 온도의 기체에 노출된 상태에서 상기 템플릿을 상기 기판의 일면에 가압하여, 상기 임프린트 패턴을 상기 기판의 일면에 부분적으로 밀착시키고, 상기 임프린트 패턴을 상기 제 1 온도 보다 낮은 제 2 온도로 냉각시켜, 상기 임프린트 패턴과 상기 기판의 일면 사이에 정의되는 기체 공간의 부피를 감소시킴으로써 상기 기판의 일면을 상기 기체공간으로 관입시키는 것을 포함하는 것이다. |
