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湮刀申谛专利范圉: 10一种雷射测长仪,包含: 雷射光源,可发出二种以上颇率且具 不同偏极方向之雷射光: 第一分光器,以将该光源发出之雷射 光分为二束: 物体反射镜,系形成直角反射羁,并 可附署于被测物: 第二分光器,系偏光分光器,可将经由该物韹反射镜反射及由该第一分光器直 接反射而来之光束分为二东: 第一偏光片,以将由该第一分光器及 第二分光器引来之吾g份雷射光,形成相同 之偏极方向; 第一侦检器,以将该第一偏光片处射 来之雷射光之交祝成分转簸为电气当号辍 出:第二偏光片,以将由该第一分光器及 第二分光器引来之另一部份雷射光形成相 同之偏极方向: 第二侦检器,以将该第二偏光片处射 来之雷射光之交流成分转铿为电气僖号后 秽出;及 计箕装匾,利用该第一侦检器及该第 二侦检器之辍出当号,计箕该物体反射撬 之移动方向及距虽1 20如申请专利挽闽第1项之雷射测长仆,含 有0 波长穗定装喔,可保持该雷射光源所 发出立至少二种颇串雷射光之一之波长入 为固定値: 计数装匮,可计得该至少二种频串之 雷射光由该光源发射至返回雷射测长仪内 部以后,与参考光东所合成之干涉光之强 度明暗锚化次橄; 第一计跤装匮,在任何时刻,计得之跤为Nl8 第二计橄装匮,在任何时刻,计得立 跤为N2: 计鲛相减装匮,刹用下式计箕N値8 N0NI一N2 距杂计算装磴,利用下式计拜该物粒 反射镜之移动方向及距虽Z: Z0N9(入/4) 其中Z値之正负表示其运动之方向1 .一..项.0 |
