| 发明名称 |
FORMING METHOD OF FINE PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR930001956(B1) |
申请公布日期 |
1993.03.20 |
| 申请号 |
KR19880010605 |
申请日期 |
1988.08.20 |
| 申请人 |
TOSHIBA CO., LTD. |
发明人 |
OKUMURA, KATSUYA;WATANABE, TOORU |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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