发明名称 扩散法制作电路图案的方法和组合物
摘要 在有机聚合物层中制作图案的方法,包括下列顺序步骤:A、在一基质上涂布一个无图案的溶解于一种增塑剂的酸性聚合物层;B、在该无图案的层上涂布一个第二图案层,它是有机碱溶解于一种挥发性溶剂而形成的液体溶液;C、加热该图案层以使挥发性溶剂从该层中除去,并使第二层的增塑剂和有机碱扩散进入酸性聚合物层的下部区域;和D、用水溶液洗涤各层以使支承图案区域的酸性聚合物加溶并使加溶的聚合物和增塑剂从该区域中除去。
申请公布号 CN1071031A 申请公布日期 1993.04.14
申请号 CN92112076.1 申请日期 1992.09.30
申请人 纳幕尔杜邦公司 发明人 J·J·费尔滕;S·H·马
分类号 H01L27/01;H01L49/02;H01L21/00;H05K3/00;C08L33/08 主分类号 H01L27/01
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 刘元金;于燕生
主权项 1、在有机聚合物层中制作图案的方法,包括下列顺序步骤:A、在一基质上涂布一个无图案的第一层,包含酸值为20-600的固体酸性有机聚合物在第一种增塑剂中的固体分散体;B、在该无图案的第一层上涂布一个有图案的第二层,包含有机碱和挥发性溶剂的液体溶液;C、加热有图案的第二层使挥发性溶剂从该层中除去并使用机碱扩散进入第一层的下部区域,从而使第一层的下部区域中的酸性聚合物通过与该有机碱的反应而变成加溶状态;D、用pH为5-8.5的水溶液洗涤这些层以除去这些层的有图案的区域中的增塑剂和加溶的酸性聚合物。
地址 美国特拉华州