激光沉积大面积超导膜的方法及其装置

摘要

本发明激光沉积膜导膜的方法，是靶台和激光头固定激光束经由垂直于光束的平面上作圆周运动的透镜实现在靶面扫描剥离。本方法的装置由激光头、靶台、基片座、电机、转盘、轴承、吊杆、吊环、透镜和控制部分等构成。转盘偏心孔位置可变，导致透镜圆周运动半径改变，加大激光束扫描范围，进一步扩大均匀沉积面积。本发明方法应用方便、装置简单实用，对于可用激光物理气相沉积生长薄膜的各种材料，改善大面积沉积膜的均匀性十分有效。

主权项

1、一种利用激光束剥离金属氧化物超导靶材，沉积大面积超导膜的方法，其特征在于：(1)靶台固定，激光束在靶材表面扫描剥离，(2)激光头固定，激光束经由在垂直于光束的平面上作圆周运动的透镜实现扫描。