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发明名称 ROTARY COATING DEVICE
摘要
申请公布号 KR930007336(B1) 申请公布日期 1993.08.09
申请号 KR19910010714 申请日期 1991.06.26
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 SASAKI, TADASHI;OKAMOTO, YOSHIO;KIZAKI, KOUJI
分类号 B05C11/08;H01L21/00;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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