玻璃-金属热压封接工艺

摘要

本发明属于玻璃金属封接技术领域利用固态焊接的热压封方法，将玻璃和金属封接在一起，达到真空气密的要求。其特征在于焊接是在加热加压的条件下进行的，焊接温度为焊料熔点的0.7—0.9倍，焊接压力在50kg—140kg/cm²；焊接时间为0.5—2min之间。焊接采用塑性较好的金属材料铅，热压封接的优点在于，焊接在大气中进行，焊接后不用退火并可解决金属与玻璃之间因膨胀系数不同而引起的封接应力。用热压封方法封接的玻璃与金属封接面其漏率可小于10^-11Torr.L/sec。

主权项

1、一种玻璃-金属热压封接技术，其特征在于：(1)采用铅焊料，封接温度为铅焊熔点的0.70-0.90倍。(2)封接时对焊料进行冲击加压，压力为40-150kg/cm2，时间为50μs-2min。(3)加压采用法兰直接支承受力方式，法兰的形状采用30℃-65℃法兰。