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发明名称 SELECTIVE ETCHING OF REFRACTORY METAL NITRIDES
摘要
申请公布号 CA2063371(A1) 申请公布日期 1993.09.19
申请号 CA19922063371 申请日期 1992.03.18
申请人 JOLLY, GURVINDER 发明人 JOLLY, GURVINDER
分类号 H01L21/3213;(IPC1-7):B23K10/00 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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