发明名称 Fabry-Perot resonaattoriin perustuva optinen voima-anturi
摘要
申请公布号 FI922262(A) 申请公布日期 1993.11.20
申请号 FI19920002262 申请日期 1992.05.19
申请人 VAISALA TECHNOLOGIES INC., OY 发明人 LEHTO, ARI;ORPANA, MARKKU;KORHONEN, ANSSI;TAMMELA, SIMO
分类号 G01L1/00;G01L1/24;G01L9/00;G01P3/68 主分类号 G01L1/00
代理机构 代理人
主权项
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