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经营范围
发明名称
DRAINING AND DRYING APPARATUS FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
KR930011433(B1)
申请公布日期
1993.12.06
申请号
KR19910009697
申请日期
1991.06.11
申请人
FUJI ELECTRIC CO., LTD.
发明人
SATO, KIYOTO;TAKAHASHI, TAKEO;YAMAMOTO, TATSUO
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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